上海交通大学微纳电子学系在国际固态电路会议(isscc)上发表研究论文 Read More 电院刘景全团队、苏跃增团队在植入式MEMS器件的炎症抑制领域取得重要进展
2024年10月7日 · 微纳制造技术是微传感器、微执行器、微结构和功能微纳系统制造的基本手段和重要基础。 按加工尺度不同,微纳制造分为微制造和纳制造。 其中,微制造指的是在微 …
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2021年4月29日 · 微纳器件与系统是在集成电路制作上发展的系列专用技术,研制微型传感器、 微型执行器 等器件和系统,具有微型化、批量化、成本低的鲜明特点,对现代生活、生产产生 …
微纳制造技术是指尺度为毫米、微米和纳米量级的零件,以及由这些零件构成的部件或系统的设计、加工、组装、集成与应用技术。 传统“宏”机械制造技术已不能满足这些“微”机械和“微”系统 …
新型有机光电与存储器件. 基于有机半导体、铁电体等开发相应的微纳图案化技术,实现有机微纳光电器件和存储器阵列制备,探索基于多功能有机微纳器件的系统集成. 先进微电子器件
微纳加工技术推动着集成电路不断缩小器件尺寸和提高集成度,光学光刻技术依然是目前的主流微纳加工技术,同时有多种替代技术如电子束直写、极紫外光刻和投影电子束技术,文章介绍了 …
2024年10月13日 · 微纳器件是现代科技领域的重要组成部分,它主要涵盖微纳电子器件、微纳光学器件以及微纳光电器件等多种类型。 微纳器件以其微米乃至纳米级别的尺寸,展现了独特的 …
本书主要讲述一些重要半导体器件的基本工作原理和特性,力求概念阐述清晰和理论联系实际,同时尽可能反映出器件发展的动向。 由于 纳米电子器件 的飞速发展和未来潜在的重大作用,所 …
2022年4月10日 · 微纳器件,是以微米乃至纳米为计算单位的器件,主要包括微纳电子器件、微纳光学器件、 微纳光电器件 等类型。 微纳器件可以广泛应用到通信、 消费电子 、汽车、医疗 …