按工艺方法可分为直拉硅单晶(CZ-Si),区熔硅单晶(FZ-Si)、磁拉硅单晶 (MCZ-Si)。 区熔硅单晶主要用于制作电力电子器件及大功率晶体管。 磁拉硅单晶主要用于制作CCI器件。 而占 …
单晶硅通常指的是硅原子以一种排列形式形成的物质。 硅是最常见应用最广的半导体材料,当熔融的单质硅凝固时,硅原子以金刚石晶格排列成晶核,其晶核长成晶面取向相同的晶粒,形成单 …
单晶硅片:硅的单晶体,是一种具有基本完整的点阵结构的晶体。 不同的方向具有不同的性质,是一种良好的半导材料。 纯度要求达到99.9999%,甚至达到99.9999999%以上。 用于制造半 …
2024年11月22日 · 文章重点讲解了直拉法(CZ法)和区域熔炼法(FZ法)的工艺特点和应用场景,并对从原料多晶硅提纯到最终晶圆切片的完整技术链进行了深入分析,同时揭示了高纯度硅 …
来源:光刻人的世界 半导体单晶硅片的生产工艺流程 单晶硅片是单晶硅棒经由一系列工艺切割而成的,制备单晶硅的方法有直拉法( CZ 法)、区熔法( FZ 法)和外延法,其中直拉法和区 …
2024年11月20日 · 提拉法工艺以高纯度多晶硅为基础,通过种晶引导晶体的生长,在控制环境下逐渐形成符合工业需求的单晶硅棒。 以下是详细的工艺步骤及技术核心。 1.1.1 工艺流程解析 …
2022年9月19日 · 硅,在 元素周期表 中位列第14位,密度2.329 g/cm3,熔点约为1420℃,沸点2355℃。 1810年,瑞典科学家Berzelius将石英砂、碳和铁共同加热进而得到一种材料,并将 …
2023年9月25日 · 单晶硅作为高纯度硅材料,广泛应用于半导体、太阳能电池、光学设备等领域。 其中,半导体制备中的单晶硅材料的纯度要求极高,其 杂质浓度 应控制在$10^ {-9}$或更低的 …
2024年10月24日 · 晶硅,又称单晶硅或硅单晶,是一种高纯度的硅材料,具有晶体结构和优异的半导体特性。 作为现代电子工业中最重要的材料之一,晶硅广泛应用于集成电路、太阳能电池 …
中文名:金属硅,英文名:Silicon,CAS:7440-21-3,化学式:H4Si,分子量:32.12,密度:2.33g/mLat 25°C (lit.),熔点:1410°C (lit.),沸点:2355°C (lit.),水溶性:INSOLUBLE,蒸汽压:54300mmHg at …